Seria RPJ
Zasilacz RF

Seria RPJ opiera się na dojrzałej technologii generowania sygnału RF, aby zapewnić klientom zasilacze RF o większej mocy, wyższej precyzji i szybkiej reakcji. Narzędzie to posiada takie funkcje, jak ustawianie fazy i kontrola impulsów.

Zastosowanie: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratoria, badania naukowe, produkcja itp.

Zastosowane procesy: osadzanie chemiczne z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe pod korpusem, czyszczenie plazmowe, źródła jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmowa, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.