Inquiry
Form loading...

आरपीजे मालिका
आरएफ वीज पुरवठा

ग्राहकांना अधिक शक्ती, उच्च अचूकता आणि जलद प्रतिसादासह आरएफ वीज पुरवठा प्रदान करण्यासाठी आरपीजे मालिका प्रौढ आरएफ जनरेशन तंत्रज्ञानावर अवलंबून आहे. टूलमध्ये फेज सेटिंग आणि पल्स कंट्रोल सारखी कार्ये आहेत.

लागू क्षेत्रे: फोटोव्होल्टेइक उद्योग, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले उद्योग, सेमीकंडक्टर उद्योग, रासायनिक उद्योग उद्योग, प्रयोगशाळा, वैज्ञानिक संशोधन, उत्पादन इ.

लागू प्रक्रिया: प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (PECVD), प्लाझ्मा सब-बॉडी एचिंग, प्लाझ्मा क्लीनिंग, रेडिओ फ्रिक्वेन्सी आयन सोर्स, प्लाझ्मा डिफ्यूजन, प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन स्पटरिंग, रिअॅक्टिव्ह स्पटरिंग, इ.

०१

महत्वाची वैशिष्टे

  • ● पूर्ण डिजिटल नियंत्रण आणि उच्च-परिशुद्धता सेन्सर स्वीकारणे
  • ● पल्स आउटपुट मिळविण्यास सक्षम
  • ● रिअल टाइम इम्पेडन्स पॉवर डिटेक्शन
  • ● CEX बाह्य सिग्नल इनपुट, प्रत्येक टप्प्याचे अचूक नियंत्रण

मुख्य पॅरामीटर्स

इनपुट

  • इनपुट व्होल्टेज 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
  • कव्हर्जन कार्यक्षमता ≥७०%

आउटपुट

  • आउटपुट पॉवर 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
  • आउटपुट वारंवारता १३.५६MHz, २७.१२MHz, ४०.६८MHz, ६०MHz
  • आउटपुट प्रतिबाधा 50Ω+0j
  • आउटपुट वारंवारता स्थिरता ±0.005%
  • आउटपुट मोड सतत, पल्स

कामगिरी निर्देशांक

  • पॉवर एक्युन्सी ४Wor±१%
  • हार्मोनिक -४० डेसिबिलिटी
  • बनावट -४० डेसिबल
  • पल्स फ्रिक्वेन्सी १०० हर्ट्ज~२० किलोहर्ट्ज
  • किमान पल्स रुंदी २५μs
  • नियंत्रण इंटरफेस अॅनालॉग, RS-232, इथरनेट, इथरकॅट इ.

टीप: उत्पादनात सतत नवनवीन बदल होत राहतात आणि कामगिरीत सुधारणा होत राहते. हे पॅरामीटर वर्णन केवळ संदर्भासाठी आहे.

अधिक माहिती

डाउनलोड करा

पॉवर सोल्युशन्स सेंटर कडे परत जा.