Sèrie RPJ
Font d'alimentació de RF

La sèrie RPJ es basa en una tecnologia de generació de RF madura per proporcionar als clients fonts d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida. Té funcions com ara la configuració de fase i el control d'impulsos.

Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalles planes, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, recerca científica, fabricació, etc.

Processos aplicables: deposició química de vapor millorada per plasma (PECVD), gravat de subcos de plasma, neteja de plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, polvorització per polimerització de plasma, polvorització reactiva, etc.

Característiques clau

● Adopció de control digital complet i sensors d'alta precisió

● Capaç d'aconseguir una sortida d'impulsos
● Detecció de potència d'impedància en temps real

● Entrada de senyal extern CEX, control precís de cada fase

Els paràmetres principals

Entrada

Tensió d'entrada 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Eficiència de conversió ≥70%

Sortida

Potència de sortida 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Freqüència de sortida 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Impedància de sortida 50Ω+0j
Estabilitat de freqüència de sortida ±0,005%
Mode de sortida Continu, pols

Índex de rendiment

Precisió de potència 4Wor ± 1%
Harmònic -40dBc
Espuri -40dBc
Freqüència d'impulsos 100Hz ~ 20kHz
Amplada mínima d'impuls 25 μs
Interfície de control analògica, RS-232, Ethernet, EtherCAT, etc.

Nota: el producte continua innovant i el rendiment continua millorant. Aquesta descripció de paràmetres és només de referència.

Més informació

Descarrega

Fitxa tècnica de la font d'alimentació RF de la sèrie RPJ
Descarrega

Torna al Centre de Solucions Energètiques

Sèrie RPJFont d'alimentació de RF