RPJ Serie
RF-Stroumversuergung

D'RPJ Serie baséiert op enger reifer RF-Generatiounstechnologie fir Clienten RF-Stroumversuergungen mat méi grousser Leeschtung, méi héijer Präzisioun a schneller Reaktioun ze bidden. Si huet Funktiounen wéi Phasenastellung an Pulskontroll.

Uwendbar Beräicher: Photovoltaikindustrie, Flachbildschiermindustrie, Hallefleederindustrie, chemesch Industrie, Laboratoire, wëssenschaftlech Fuerschung, Fabrikatioun, etc.

Uwendbar Prozesser: Plasma-verstäerkt chemesch Vapordepositioun (PECVD), Plasma-Subbody-Ätzen, Plasma-Reinigung, Radiofrequenz-Ionenquell, Plasma-Diffusioun, Plasmapolymerisatiounssputtering, reaktivt Sputtering, etc.

Schlësselmerkmale

● Volldigital Kontroll a präzis Sensoren

● Fäeg fir Pulsausgang z'erreechen
● Echtzäit Impedanzleistungsdetektioun

● CEX externen Signalinput, präzis Kontroll vun all Phase

Déi wichtegst Parameteren

Input

Inputspannung 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konversiounseffizienz ≥70%

Ausgab

Ausgangsleistung 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Ausgangsfrequenz 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Ausgangsimpedanz 50Ω+0j
Ausgangsfrequenzstabilitéit ±0,005%
Ausgangsmodus Kontinuéierlech, Puls

Leeschtungsindex

Leeschtungsgenauegkeet 4Wor±1%
Harmonesch -40dBc
Falsch -40dBc
Pulsfrequenz 100Hz~20kHz
Minimal Pulsbreet 25μs
Kontrollschnittstell Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT etc.

Bemierkung: D'Produkt gëtt weider innovativ an d'Leeschtung verbessert sech weider. Dës Parameterbeschreiwung ass nëmme fir Referenz.

Méi Informatiounen

Eroflueden

RPJ Serie RF Stroumversuergung - Datenblatt
Eroflueden

Zréck zum Power Solutions Center

RPJ SerieRF-Stroumversuergung