Seria RPJ
Sursă de alimentare RF

Seria RPJ se bazează pe tehnologie matură de generare RF pentru a oferi clienților surse de alimentare RF cu putere mai mare, precizie mai mare și răspuns rapid. Are funcții precum setarea fazei și controlul impulsurilor.

Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria afișajelor cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.

Procese aplicabile: depunere chimică în fază de vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), gravare cu plasmă a subcorpului, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare cu polimerizare plasmă, pulverizare reactivă etc.

Caracteristici cheie

● Adoptarea unui control complet digital și a senzorilor de înaltă precizie

● Capabil să obțină o ieșire în impulsuri
● Detectarea impedanței în timp real a puterii

● Intrare semnal extern CEX, control precis al fiecărei faze

Parametrii principali

Intrare

Tensiune de intrare 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Eficiență de conversie ≥70%

Ieșire

Putere de ieșire 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Frecvență de ieșire 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Impedanță de ieșire 50Ω+0j
Stabilitatea frecvenței de ieșire ±0,005%
Mod de ieșire Continuu, impuls

Indicele de performanță

Precizie de putere 4Wor±1%
Armonică -40dBc
Fals -40dBc
Frecvența impulsurilor 100Hz~20kHz
Lățime minimă a impulsului 25 μs
Interfață de control Analogică, RS-232, Ethernet, EtherCAT etc.

Notă: produsul continuă să se inoveze, iar performanța continuă să se îmbunătățească. Această descriere a parametrilor este doar cu titlu de referință.

Mai multe informații

Descărcare

Fișă tehnică de alimentare RF seria RPJ
Descărcare

Înapoi la Centrul de Soluții Energetice

Seria RPJSursă de alimentare RF