Serie RPJ
Fuente de alimentación de RF

La serie RPJ se basa en tecnología de generación de RF madura para proporcionar a los clientes fuentes de alimentación de RF con mayor potencia, mayor precisión y respuesta rápida. La herramienta tiene funciones como ajuste de fase y control de pulso.

Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, industria, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.

Procesos aplicables: deposición química en fase de vapor mejorada con plasma (PECVD), grabado de subcuerpos con plasma, limpieza por plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización catódica por polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.