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RPJ 시리즈
RF 전원 공급 장치

RPJ 시리즈는 검증된 RF 발생 기술을 기반으로 고객에게 더 높은 출력, 더 높은 정밀도 및 빠른 응답 속도를 제공하는 RF 전원 공급 장치를 제공합니다. 또한 위상 설정 및 펄스 제어와 같은 기능을 갖추고 있습니다.

적용 분야: 태양광 산업, 평면 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 연구소, 과학 연구, 제조 등

적용 가능한 공정: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 서브바디 에칭, 플라즈마 클리닝, 고주파 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등

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주요 특징

  • ● 완전 디지털 제어 및 고정밀 센서 채택
  • ● 펄스 출력을 생성할 수 있음
  • ● 실시간 임피던스 전력 감지
  • ● CEX 외부 신호 입력, 각 단계의 정밀 제어

주요 매개변수

입력

  • 입력 전압 3상 AC 208V, 3상 AC 380V; 50/60Hz
  • 전환 효율 ≥70%

산출

  • 출력 전력 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
  • 출력 주파수 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
  • 출력 임피던스 50Ω+0j
  • 출력 주파수 안정성 ±0.005%
  • 출력 모드 연속, 펄스

성과 지표

  • 전력 정확도 4Wor±1%
  • 고조파 -40dBc
  • 허위 -40dBc
  • 펄스 주파수 100Hz~20kHz
  • 최소 펄스 폭 25μs
  • 제어 인터페이스: 아날로그, RS-232, 이더넷, EtherCAT 등

참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 성능이 향상됩니다. 본 제품 사양 설명은 참고용으로만 제공됩니다.

더 자세한 정보

다운로드

  • RPJ 시리즈 RF 전원 공급 장치 데이터시트

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