RPJ-Serie
HF-Stromversorgung

Die RPJ-Serie nutzt ausgereifte HF-Generierungstechnologie, um Kunden HF-Netzteile mit höherer Leistung, höherer Präzision und schnellerer Reaktionszeit zu bieten. Sie verfügt über Funktionen wie Phaseneinstellung und Pulssteuerung.

Anwendungsgebiete: Photovoltaikindustrie, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labor, wissenschaftliche Forschung, Fertigung usw.

Anwendbare Verfahren: plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasma-Subbody-Ätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasma-Polymerisations-Sputtern, reaktives Sputtern usw.

Hauptmerkmale

● Vollständig digitale Steuerung und hochpräzise Sensoren

● Kann Impulsausgabe erzeugen
● Echtzeit-Impedanzleistungsmessung

● Externer CEX-Signaleingang, präzise Steuerung jeder Phase

Die wichtigsten Parameter

Eingang

Eingangsspannung: 3-phasig AC 208 V, 3-phasig AC 380 V; 50/60 Hz
Konversionseffizienz ≥70%

Ausgabe

Ausgangsleistung 3 kW, 6 kW, 12 kW, 20 kW, 24 kW
Ausgangsfrequenz 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Ausgangsimpedanz 50Ω+0j
Ausgangsfrequenzstabilität ±0,005 %
Ausgabemodus: Kontinuierlich, Impuls

Leistungsindex

Leistungsgenauigkeit 4Wor±1%
Harmonische -40dBc
Störsignal -40dBc
Pulsfrequenz 100 Hz ~ 20 kHz
Minimale Impulsbreite 25 μs
Steuerschnittstellen: Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT usw.

Hinweis: Das Produkt wird kontinuierlich weiterentwickelt und seine Leistung verbessert sich stetig. Diese Parameterbeschreibung dient lediglich als Referenz.

Weitere Informationen

Herunterladen

RPJ-Serie HF-Netzteil – Datenblatt
Herunterladen

Zurück zum Energielösungszentrum

RPJ-SerieHF-Stromversorgung