RPJ-serien
RF-strömförsörjning

RPJ-serien förlitar sig på mogen RF-genereringsteknik för att förse kunder med RF-strömförsörjning med större effekt, högre precision och snabb respons. Den har funktioner som fasinställning och pulskontroll.

Tillämpliga områden: fotovoltaisk industri, plattskärmsindustri, halvledarindustri, kemisk industri, laboratorium, vetenskaplig forskning, tillverkning etc.

Tillämpliga processer: plasmaförstärkt kemisk ångdeponering (PECVD), plasmasubkroppsetsning, plasmarengöring, radiofrekvensjonkälla, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtring, reaktiv sputtring, etc.

Viktiga funktioner

● Användning av helt digital styrning och högprecisionssensorer

● Kan uppnå pulsutgång
● Impedanseffektdetektering i realtid

● CEX extern signalingång, exakt styrning av varje fas

De viktigaste parametrarna

Input

Ingångsspänning 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konverteringseffektivitet ≥70%

Produktion

Uteffekt 3 kW, 6 kW, 12 kW, 20 kW, 24 kW
Utgångsfrekvens 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Utgångsimpedans 50Ω+0j
Utgångsfrekvensstabilitet ±0,005 %
Utgångsläge Kontinuerlig, puls

Prestandaindex

Effektnoggrannhet 4Wor±1%
Harmonisk -40dBc
Falskt -40dBc
Pulsfrekvens 100Hz~20kHz
Minsta pulsbredd 25 μs
Kontrollgränssnitt analogt, RS-232, Ethernet, EtherCAT etc.

Obs: Produkten fortsätter att förnya sig och prestandan fortsätter att förbättras. Denna parameterbeskrivning är endast för referens.

Mer information

Ladda ner

RPJ-serien RF-strömförsörjning - datablad
Ladda ner

Tillbaka till Power Solutions Center

RPJ-serienRF-strömförsörjning