RPJ сериясы
РФ қуат көзі

RPJ сериясы тұтынушыларға жоғары қуаттылық, жоғары дәлдік және жылдам жауап беретін РФ қуат көздерін ұсыну үшін жетілген РФ генерациялау технологиясына сүйенеді. Құрал фазаны орнату және импульсті басқару сияқты функцияларға ие.

Қолданылатын салалар: фотоэлектрлік өнеркәсібі, жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі, жартылай өткізгіш өнеркәсібі, химия өнеркәсібі, зертхана, ғылыми зерттеулер, өндіріс және т.б.

Қолданылатын процестер: плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD), плазмалық дене астын ою, плазмалық тазалау, радиожиілік ион көзі, плазмалық диффузия, плазмалық полимерлену арқылы тозаңдату, реактивті тозаңдату және т.б.