Seri RPJ
Catu Daya RF

Seri RPJ mengandalkan teknologi pembangkitan RF yang matang untuk menyediakan catu daya RF kepada pelanggan dengan daya yang lebih besar, presisi yang lebih tinggi, dan respons yang cepat. Alat ini memiliki fungsi seperti pengaturan fase dan kontrol pulsa.

Bidang aplikasi: industri fotovoltaik, industri layar panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, penelitian ilmiah, manufaktur, dll.

Proses yang dapat diaplikasikan: pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD), etsa sub-badan plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, difusi plasma, sputtering polimerisasi plasma, sputtering reaktif, dll.