Séria RPJ
Rádiový zdroj napájania

Séria RPJ sa spolieha na vyspelé technológie generovania RF signálu, aby zákazníkom poskytla RF napájacie zdroje s väčším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou. Má funkcie ako nastavenie fázy a riadenie impulzov.

Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel plochých displejov, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratórium, vedecký výskum, výroba atď.

Použiteľné procesy: plazmovo vylepšená chemická depozícia z pár (PECVD), leptanie plazmových podčastíc, čistenie plazmou, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.

Kľúčové vlastnosti

● Využitie plne digitálneho riadenia a vysoko presných senzorov

● Schopný dosiahnuť impulzný výstup
● Detekcia impedancie výkonu v reálnom čase

● Externý signálový vstup CEX, presné riadenie každej fázy

Hlavné parametre

Vstup

Vstupné napätie 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Účinnosť konverzie ≥70%

Výstup

Výstupný výkon 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Výstupná frekvencia 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Výstupná impedancia 50Ω+0j
Stabilita výstupnej frekvencie ±0,005 %
Výstupný režim: Nepretržitý, impulzný

Index výkonnosti

Napájací prúd 4 Wor±1 %
Harmonické -40dBc
Rušivý -40dBc
Frekvencia impulzov 100 Hz ~ 20 kHz
Minimálna šírka impulzu 25 μs
Riadiace rozhranie: analógové, RS-232, Ethernet, EtherCAT atď.

Poznámka: Produkt sa neustále vylepšuje a jeho výkon sa neustále zlepšuje. Tento popis parametrov slúži len na referenčné účely.

Viac informácií

Stiahnuť

Napájací zdroj série RPJ RF - technický list
Stiahnuť

Späť do Centra energetických riešení

Séria RPJRádiový zdroj napájania