Σειρά RPJ
Τροφοδοτικό RF

Η σειρά RPJ βασίζεται στην ώριμη τεχνολογία παραγωγής RF για να παρέχει στους πελάτες τροφοδοτικά RF με μεγαλύτερη ισχύ, υψηλότερη ακρίβεια και γρήγορη απόκριση. Διαθέτει λειτουργίες όπως ρύθμιση φάσης και έλεγχο παλμών.

Εφαρμόσιμοι τομείς: φωτοβολταϊκή βιομηχανία, βιομηχανία επίπεδων οθονών, βιομηχανία ημιαγωγών, χημική βιομηχανία, εργαστήριο, επιστημονική έρευνα, κατασκευή, κ.λπ.

Εφαρμοστέες διεργασίες: εναπόθεση χημικών ατμών με ενίσχυση πλάσματος (PECVD), χάραξη υποσώματος πλάσματος, καθαρισμός πλάσματος, πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων, διάχυση πλάσματος, ψεκασμός πολυμερισμού πλάσματος, αντιδραστικός ψεκασμός κ.λπ.

Βασικά χαρακτηριστικά

● Υιοθέτηση πλήρους ψηφιακού ελέγχου και αισθητήρων υψηλής ακρίβειας

● Ικανός να επιτύχει παλμική έξοδο
● Ανίχνευση ισχύος σύνθετης αντίστασης σε πραγματικό χρόνο

● Είσοδος εξωτερικού σήματος CEX, ακριβής έλεγχος κάθε φάσης

Οι κύριες παράμετροι

Εισαγωγή

Τάση εισόδου 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Απόδοση κάλυψης ≥70%

Παραγωγή

Ισχύς εξόδου 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Συχνότητα εξόδου 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz, 60MHz
Αντίσταση εξόδου 50Ω+0j
Σταθερότητα συχνότητας εξόδου ±0,005%
Λειτουργία εξόδου: Συνεχής, παλμική

Δείκτης απόδοσης

Ισχύς accuancy 4Wor±1%
Αρμονική -40dBc
Ψεύτικο -40dBc
Συχνότητα παλμού 100Hz~20kHz
Ελάχιστο πλάτος παλμού 25μs
Διεπαφή ελέγχου: Αναλογική, RS-232, Ethernet, EtherCAT κ.λπ.

Σημείωση: το προϊόν συνεχίζει να καινοτομεί και η απόδοση συνεχίζει να βελτιώνεται. Αυτή η περιγραφή παραμέτρου είναι μόνο για αναφορά.

Περισσότερες πληροφορίες

Λήψη

Τροφοδοτικό RF σειράς RPJ - Φύλλο δεδομένων
Λήψη

Επιστροφή στο Κέντρο Λύσεων Ισχύος

Σειρά RPJΤροφοδοτικό RF