Inquiry
Form loading...

RPJ seriyasi
RF quvvat manbai

RPJ seriyasi mijozlarga yuqori quvvat, yuqori aniqlik va tezkor javob bilan RF quvvat manbalarini taqdim etish uchun etuk RF ishlab chiqarish texnologiyasiga tayanadi. Asbob fazani sozlash va impulslarni boshqarish kabi funktsiyalarga ega.

Qo'llaniladigan sohalar: fotovoltaik sanoat, yassi panelli displey sanoati, yarimo'tkazgich sanoati, kimyo sanoati, laboratoriya, ilmiy tadqiqotlar, ishlab chiqarish va boshqalar.

Qo'llaniladigan jarayonlar: plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bug'lanish (PECVD), plazma sub-korpusini o'yib ishlash, plazma tozalash, radiochastotali ion manbai, plazma diffuziyasi, plazma polimerizatsiyasi bilan purkash, reaktiv purkash va boshqalar.

01

Asosiy xususiyatlar

  • ● To'liq raqamli boshqaruv va yuqori aniqlikdagi sensorlarni qo'llash
  • ● Puls chiqishiga erishishga qodir
  • ● Haqiqiy vaqtda impedans quvvatini aniqlash
  • ● CEX tashqi signal kiritish, har bir fazani aniq boshqarish

Asosiy parametrlar

Kirish

  • Kirish kuchlanishi 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
  • Konversiya samaradorligi ≥70%

Chiqish

  • Chiqish quvvati 3 kVt, 6 kVt, 12 kVt, 20 kVt, 24 kVt
  • Chiqish chastotasi 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
  • Chiqish empedansi 50Ω+0j
  • Chiqish chastotasi barqarorligi ±0,005%
  • Chiqish rejimi Uzluksiz, pulsatsiyalanuvchi

Ishlash indeksi

  • Quvvat sarfi 4Wor±1%
  • Garmonik -40dBc
  • Soxta -40dBc
  • Puls chastotasi 100Hz ~ 20kHz
  • Minimal impuls kengligi 25 μs
  • Boshqaruv interfeysi Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT va boshqalar.

Izoh: mahsulot innovatsiyalarni davom ettirmoqda va ishlash yaxshilanishda davom etmoqda. Ushbu parametr tavsifi faqat ma'lumot uchun.

Qo'shimcha ma'lumot

Yuklab olish

  • RPJ seriyali RF quvvat manbai-ma'lumotlar jadvali

    65975ba95qYuklab olish
Quvvat yechimlari markaziga qaytish