Serija RPJ
RF napajalnik

Serija RPJ se opira na zrelo tehnologijo generacije RF, da strankam zagotovi RF napajalnike z večjo močjo, večjo natančnostjo in hitrim odzivom. Orodje ima funkcije, kot sta nastavitev faze in nadzor impulzov.

Uporabna področja: fotovoltaična industrija, industrija ravnih zaslonov, polprevodniška industrija, kemična industrija, laboratorij, znanstvene raziskave, proizvodnja itd.

Uporabni postopki: plazemsko izboljšano kemično nanašanje s paro (PECVD), jedkanje podtelesa v plazmi, čiščenje s plazmo, radiofrekvenčni ionski vir, difuzija s plazmo, plazemsko polimerizacijsko razprševanje, reaktivno razprševanje itd.

Ključne značilnosti

● Uporaba popolnoma digitalnega nadzora in visoko natančnih senzorjev

● Zmožnost doseganja impulznega izhoda
● Zaznavanje moči impedance v realnem času

● Zunanji signalni vhod CEX, natančen nadzor vsake faze

Glavni parametri

Vnos

Vhodna napetost 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Učinkovitost konverzije ≥70 %

Izhod

Izhodna moč 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Izhodna frekvenca 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Izhodna impedanca 50Ω+0j
Stabilnost izhodne frekvence ±0,005 %
Izhodni način: Neprekinjen, impulzen

Indeks uspešnosti

Moč toka 4Wor±1%
Harmonično -40dBc
Lažni -40dBc
Frekvenca impulzov 100Hz~20kHz
Najmanjša širina impulza 25 μs
Krmilni vmesnik Analogni, RS-232, Ethernet, EtherCAT itd.

Opomba: izdelek se nenehno izboljšuje in njegova zmogljivost se nenehno izboljšuje. Ta opis parametrov je zgolj za referenco.

Več informacij

Prenesi

RPJ serija RF napajalnik - podatkovni list
Prenesi

Nazaj v center za energetske rešitve

Serija RPJRF napajalnik