RPJ serían
RF aflgjafi

RPJ serían byggir á þroskaðri RF-framleiðslutækni til að veita viðskiptavinum RF-aflgjafa með meiri afli, meiri nákvæmni og hraðri svörun. Tólið býður upp á aðgerðir eins og fasastillingu og púlsstýringu.

Viðeigandi svið: ljósaiðnaður, flatskjár, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofur, vísindarannsóknir, framleiðsla o.s.frv.

Viðeigandi ferli: plasma-aukið efnagufuútfelling (PECVD), plasma-undirlíkamsetsing, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujóngjafi, plasmadreifing, plasmafjölliðunarspútrun, hvarfgjörn spútrun o.s.frv.

Lykilatriði

● Að taka upp fulla stafræna stýringu og nákvæma skynjara

● Getur náð púlsútgangi
● Rauntíma viðnámsmæling

● Inntak utanaðkomandi merkis CEX, nákvæm stjórnun á hverjum áfanga

Helstu breyturnar

Inntak

Inntaksspenna 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Umbreytingarhagkvæmni ≥70%

Úttak

Úttaksafl 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Útgangstíðni 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Útgangsimpedans 50Ω+0j
Stöðugleiki útgangstíðni ±0,005%
Úttaksstilling Samfelld, púls

Árangursvísitala

Aflsnákvæmni 4Wor ± 1%
Harmonísk -40dBc
Óljós -40dBc
Púlstíðni 100Hz ~ 20kHz
Lágmarks púlsbreidd 25μs
Stjórnviðmót Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT o.s.frv.

Athugið: Varan heldur áfram að þróast og afköstin halda áfram að batna. Þessi lýsing á breytum er eingöngu til viðmiðunar.

Meiri upplýsingar

Sækja

RPJ serían RF aflgjafa - gagnablað
Sækja

Til baka í Power Solutions Center

RPJ seríanRF aflgjafi