RPJ serija
RF napajanje

Serija RPJ oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružila RF napajanja veće snage, veće preciznosti i brzog odziva. Alat ima funkcije kao što su podešavanje faze i kontrola impulsa.

Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih ekrana, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.

Primjenjivi procesi: plazma pojačano hemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje pod-materijalne strukture, plazma čišćenje, radiofrekventni izvor jona, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.