Inquiry
Form loading...

סדרת RPJ
ספק כוח RF

סדרת RPJ מסתמכת על טכנולוגיית ייצור RF בוגרת כדי לספק ללקוחות ספקי כוח RF בעלי הספק רב יותר, דיוק גבוה יותר ותגובה מהירה. לכלי יש פונקציות כגון הגדרת פאזה ובקרת דופק.

תחומים רלוונטיים: תעשייה פוטו-וולטאית, תעשיית צגי שטוח, תעשיית מוליכים למחצה, תעשייה כימית, מעבדה, מחקר מדעי, ייצור וכו'.

תהליכים ישימים: שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD), איכול תת-גוף בפלזמה, ניקוי פלזמה, מקור יונים בתדר רדיו, דיפוזיה של פלזמה, התזה באמצעות פילמור פלזמה, התזה ריאקטיבית וכו'.

01

תכונות עיקריות

  • ● אימוץ בקרה דיגיטלית מלאה וחיישנים מדויקים
  • ● מסוגל להשיג פלט דופק
  • ● זיהוי הספק עכבה בזמן אמת
  • ● קלט אות חיצוני CEX, שליטה מדויקת בכל פאזה

הפרמטרים העיקריים

קֶלֶט

  • מתח כניסה 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
  • יעילות המרה ≥70%

תְפוּקָה

  • הספק פלט 3 קילוואט, 6 קילוואט, 12 קילוואט, 20 קילוואט, 24 קילוואט
  • תדר פלט 13.56 מגה-הרץ, 27.12 מגה-הרץ, 40.68 מגה-הרץ, 60 מגה-הרץ
  • עכבת פלט 50Ω+0j
  • יציבות תדר המוצא ±0.005%
  • מצב פלט רציף, דופק

מדד ביצועים

  • רמת צריכת חשמל 4Wor±1%
  • הרמוני -40dBc
  • מזויף -40dBc
  • תדר דופק 100 הרץ ~ 20 קילו-הרץ
  • רוחב פולס מינימלי 25μs
  • ממשק בקרה אנלוגי, RS-232, Ethernet, EtherCAT וכו'.

הערה: המוצר ממשיך לחדש והביצועים ממשיכים להשתפר. תיאור פרמטר זה מיועד לעיון בלבד.

מידע נוסף

הורדה

  • ספק כוח RF סדרת RPJ - גיליון נתונים

    65975ba95qהורדה
חזרה למרכז פתרונות חשמל