Siri RPJ
Bekalan Kuasa RF

Siri RPJ bergantung pada teknologi penjanaan RF yang matang untuk menyediakan bekalan kuasa RF kepada pelanggan dengan kuasa yang lebih besar, ketepatan yang lebih tinggi dan tindak balas yang pantas. Ia mempunyai fungsi seperti penetapan fasa dan kawalan denyut.

Bidang yang berkenaan: industri fotovoltaik, industri paparan panel rata, industri semikonduktor, industri kimia, makmal, penyelidikan saintifik, pembuatan, dan sebagainya.

Proses yang berkenaan: pemendapan wap kimia dipertingkatkan plasma (PECVD), pengetsaan Sub-badan plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, penyebaran plasma, percikan pempolimeran plasma, percikan reaktif, dan sebagainya.