RPJ මාලාව
RF බල සැපයුම

RPJ ශ්‍රේණිය, පාරිභෝගිකයින්ට වැඩි බලයක්, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ වේගවත් ප්‍රතිචාරයක් සහිත RF බල සැපයුම් ලබා දීම සඳහා පරිණත RF උත්පාදන තාක්ෂණය මත රඳා පවතී. මෙවලමෙහි අදියර සැකසීම සහ ස්පන්දන පාලනය වැනි කාර්යයන් ඇත.

අදාළ ක්ෂේත්‍ර: ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය, පැතලි පැනල් ප්‍රදර්ශන කර්මාන්තය, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, රසායනික කර්මාන්තය, රසායනාගාරය, විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ, නිෂ්පාදනය යනාදිය.

අදාළ ක්‍රියාවලීන්: ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PECVD), ප්ලාස්මා උප-ශරීර කැටයම් කිරීම, ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම, රේඩියෝ සංඛ්‍යාත අයන ප්‍රභවය, ප්ලාස්මා විසරණය, ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණ ඉසීම, ප්‍රතික්‍රියාශීලී ඉසීම, ආදිය.