RPJシリーズ
RF電源

RPJ シリーズは、成熟した RF 生成テクノロジーを活用して、より高出力、高精度、高速応答の RF 電源を顧客に提供します。このツールには、位相設定やパルス制御などの機能があります。

適用分野：太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、研究所、科学研究、製造など。

適用可能なプロセス: プラズマ強化化学気相成長法 (PECVD)、プラズマサブボディエッチング、プラズマクリーニング、無線周波数イオン源、プラズマ拡散、プラズマ重合スパッタリング、反応性スパッタリングなど。