Серія RPJ
Блок живлення радіочастотного сигналу

Серія RPJ спирається на зрілу технологію генерації радіочастотних сигналів, щоб забезпечити клієнтів джерелами живлення радіочастотних сигналів з більшою потужністю, вищою точністю та швидким відгуком. Вона має такі функції, як налаштування фази та керування імпульсами.

Застосовувані галузі: фотоелектрична промисловість, промисловість плоских дисплеїв, напівпровідникова промисловість, хімічна промисловість, лабораторія, наукові дослідження, виробництво тощо.

Застосовувані процеси: плазмове посилене хімічне осадження з парової фази (PECVD), плазмове травлення субчастинок, плазмове очищення, радіочастотне джерело іонів, плазмова дифузія, плазмове полімеризаційне розпилення, реактивне розпилення тощо.

Ключові характеристики

● Використання повністю цифрового керування та високоточних датчиків

● Здатний досягати імпульсного виходу
● Визначення потужності імпедансу в режимі реального часу

● Вхід зовнішнього сигналу CEX, точне керування кожною фазою

Основні параметри

Вхід

Вхідна напруга 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Ефективність конверсії ≥70%

Вихід

Вихідна потужність 3 кВт, 6 кВт, 12 кВт, 20 кВт, 24 кВт
Вихідна частота 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц
Вихідний імпеданс 50 Ом + 0 Дж
Стабільність вихідної частоти ±0,005%
Режим виходу: безперервний, імпульсний

Індекс продуктивності

Номінальна потужність 4 Вт ± 1%
Гармоніка -40 дБн
Паразитний шум -40 дБн
Частота імпульсів 100 Гц ~ 20 кГц
Мінімальна ширина імпульсу 25 мкс
Інтерфейс керування: аналоговий, RS-232, Ethernet, EtherCAT тощо.

Примітка: продукт продовжує вдосконалюватися, а його продуктивність продовжує покращуватися. Цей опис параметрів наведено лише для довідки.

Більше інформації

Завантажити

Блок живлення серії RPJ RF - Технічний опис
Завантажити

Повернутися до Центру енергетичних рішень

Серія RPJБлок живлення радіочастотного сигналу